E-beam origination technology: Current state and development prospects.

A.A.Goncharsky; S. R. Durlevich

A. A. Goncharsky and S. R. Durlevich E-beam origination technology: Current state and development prospects. - The Holography Times, Journal of Hologram Manufacturers Association of India Volume 6, Issue 19, October 2012.

Ключевые слова: нанооптика, электронно-лучевая литография, многоградационный микрорельеф, плоский оптический элемент, дифракционный оптический элемент

Текст: http://www.homai.org/AdminPanel/PDF/E%20beam%20origination%20technology.pdf